オプション アイテムグローブボックス
ラミナーフローシステム
基本的な構成
- N2またはArを強制循環
- HEPAフィルターによるパーティクルの除去
- ダウンフローによる循環
- クラス10以下のクリーン度を実現
- 温度制御機構(水冷配管)装備可能
specification
KK-011AS-Extra (3 Port)
Basic Specification
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size | 1,800(W) x 760(D) x 890(H)mm | Material | SUS304 |
Windows | Poly-Carbonate PC or Safety Glass | Glove | Butyl Rubber 1.5 Pair |
External Light | 1 | Service Port | KF(NW40): 2ea |
Leak Test | 0.05 vol%/hr According to ISO 10648-2 | ||
antechamber
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Size | 380 x 500mm | vacuum Capacity | 1 x 10-3torr |
Tray | 200 x 500mm | ||
Mini-Antechamber
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Size | 150 x 290mm | ||
Purifier System
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Purifity Level | Less than 1 ppm O2 and H2O | Catalyst | Oxygen Catalyst and Modecular Sieve |
PLC | Automatic PLC control | Control Panel | 7˚Full Color Touch Screen |
Purifier Regeneration | Auto Regeneration programmed on PLC | Blower Speed Control | Max. 63 CFM (1.78m3/min) |
Vacuum Pump | 200L/min | ||
Stand
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Size | 1,800(W) x 760(D) x 930(H)mm |
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