オプション アイテムグローブボックス

ラミナーフローシステム

基本的な構成

  • N2またはArを強制循環
  • HEPAフィルターによるパーティクルの除去
  • ダウンフローによる循環
  • クラス10以下のクリーン度を実現
  • 温度制御機構(水冷配管)装備可能

specification

KK-011AS-Extra (3 Port)

Basic Specification
size 1,800(W) x 760(D) x 890(H)mm Material SUS304
Windows Poly-Carbonate PC or Safety Glass Glove Butyl Rubber 1.5 Pair
External Light 1 Service Port KF(NW40): 2ea
Leak Test 0.05 vol%/hr According to ISO 10648-2
antechamber
Size 380 x 500mm vacuum Capacity 1 x 10-3torr
Tray 200 x 500mm
Mini-Antechamber
Size 150 x 290mm
Purifier System
Purifity Level Less than 1 ppm O2 and H2O Catalyst Oxygen Catalyst and Modecular Sieve
PLC Automatic PLC control Control Panel 7˚Full Color Touch Screen
Purifier Regeneration Auto Regeneration programmed on PLC Blower Speed Control Max. 63 CFM (1.78m3/min)
Vacuum Pump 200L/min
Stand
Size 1,800(W) x 760(D) x 930(H)mm

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