KOREA KIYON

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ドッキングアイテム	Thermal Evaporation E-Beam Sputter Customize
グローブボックスタイプ	1人用 1.5人用 2人用
アプリケーション	Perovskite Solar Battery OLED
システムデザイン(モデル)	Sliding Door Type(KSD Series) Desk Top Type(KDT Series) Loadlock Type(KLT Series)
サンプルサイズ (ガラス)	50mm * 50mm 100mm * 100mm 176mm * 176mm
サンプルサイズ (ウェハー)	2" 3" 4" 6"
Substrate holder type	Rotation Rotation + Heating Rotation + Cooling
メタルプロセス数	1 set 2 set 3 set 4 set
オーガニックプロセス数	1 set 2 set 3 set 4 set
コンビネーションプロセス	1Metal + 1 Organic 1Metal + 2 Organic 2Metal + 1 Organic 2Metal + 2 Organic
厚さコントロール	Manual Control Auto Control
Co-deposition Quantity	X 2 set(1+1) 3 set(1+1+1)
高真空ポンプ	TMP Cryo Pump
TMP タイプ	Normal Type Corrosive Type
低真空ポンプ	Rotary Pump Rotary Pump (Fomblin) Oil Free Dry Pump
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