蒸着装置
KSD-170
Thermal Evaporator
Sliding Door Type
KIYONは蒸着装備を独自のグローブボックスと一体化させて、お客様のご希望に合わせた一つのシステムを提供いたします。
基本的な構成
characteristic
蒸着チャンバーサイズ：450mm(W)×450mm(D)×355mm(H) または550mm(H)
資料サイズ： 最大170mm×170mm基板
到達真空: 5.0 x 10-7Torr以下
排気速度： 排気開始から30分で5.0×10-6Torr以下
膜厚均一性：±3%以下(170mm基板内)
design
スライドドアによる試料セット/取り出し及びグローブボックスによる蒸着材料充填
背面ドアからのチャンバーメンテナンス＆清掃 (グローブボックス内環境に影響を与えず)
configuration
PCによる自動制御が可能
10.5インチタッチパネルからPLCによるシステムセミオート制御 : 自動排気、自動ベント、オートシャットダウン
Venting, Auto System Shut Down
自動成膜制御及び二元蒸着制御が可能
加熱基板ホルダー（最高300℃）または冷却（5℃）が可能
測定装置/AFMについては下のお問い合わせのリンクをお願いします。
見積依頼
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