蒸着装置
KDSD-170
Thermal Evaporator
Dual Chamber Sliding Door Type
KIYONは蒸着装備を独自のグローブボックスと一体化させて、お客様のご希望に合わせた一つのシステムを提供いたします。
基本的な構成

characteristic
1つのグローブボックスの中で、2つの蒸着装置を使用可能: メタルソース、オーガニックソースを別々使用
ペロブスカイトの蒸着可能
実験室のスペース活用やコストの削減が可能
蒸着チャンバーサイズ:450mm(W)×450mm(D)×550mm(H)×2セット
資料サイズ: 最大170mm×170mm基板
到達真空: 5.0 x 10-7Torr以下
排気速度: 排気開始から30分で5.0×10-6Torr以下

design
スライドドアによる試料セット/取り出し 及びグローブボックスによる蒸着材料充填
背面ドアからのチャンバーメンテナンス&清掃 (グローブボックス内環境に影響を与えず)

configuration
PCによる自動制御が可能
10.5インチタッチパネルからPLCによるシステムセミオート制御 : 自動排気、自動ベント、オートシャットダウン
自動成膜制御及び二元蒸着制御が可能
加熱基板ホルダー(最高300℃)または冷却(5℃)が可能
測定装置/AFMについては下のお問い合わせのリンクをお願いします。
見積依頼
どんなことでも
お気軽にお問い合わせください。