アプリケーショングローブボックス
ピュアリフィケイション
基本的な構成
- 研究用から生産用まで適用可能なピュリフィケイションシステム
- 研究用に相応しい容量の精製設備の適用が可能 0.8m3 ~ 2.5m3 等
- 量産用 Purification System
(Transfer Module そして OLED チェッカー Modul用) - 異なる体積のエンクロージャ用ガス精製装置 5m3, 10m3, 50m3, 等
見積依頼
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